半導(dǎo)體與晶圓廠

半導(dǎo)體晶圓制造的光刻、刻蝕、薄膜沉積等核心工藝，對(duì)真空環(huán)境的要求達(dá)到 “超高真空” 級(jí)別（真空度需低至 10?¹² mbar），任何微小的氣體雜質(zhì)或壓力波動(dòng)，都可能導(dǎo)致芯片良率大幅下降。PFEIFFER VACUUM、VAT、INFICON與SMC形成了 “真空系統(tǒng) - 閥門控制 - 檢測(cè)優(yōu)化 - 自動(dòng)化搬運(yùn)” 的全鏈條支撐。

PFEIFFER VACUUM的Hiace 系列渦輪分子真空泵能穩(wěn)定維持晶圓廠工藝腔室的超高真空環(huán)境，搭配 CenterLine CNR 真空計(jì)的實(shí)時(shí)壓力監(jiān)測(cè)，可確保光刻環(huán)節(jié)的光路不受氣體干擾；2025 年更名后新增的 “Fab Solutions” 半導(dǎo)體定制方案，更是直接對(duì)接晶圓廠的產(chǎn)線升級(jí)需求。

VAT的超高真空閥門則是工藝腔室的 “精準(zhǔn)開關(guān)”，其為半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計(jì)的扇形閥可實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)響應(yīng)，精準(zhǔn)控制工藝氣體的進(jìn)出與真空度調(diào)節(jié)，在 3D NAND 芯片的多層堆疊制造中，有效避免不同工藝步驟的氣體交叉污染。

INFICON的泄漏檢測(cè)設(shè)備與薄膜厚度傳感器，是晶圓廠 “零缺陷生產(chǎn)” 的關(guān)鍵：其氦質(zhì)譜檢漏儀能檢測(cè)到 10?? Pa?m³/s 級(jí)別的微小泄漏，防止工藝腔室漏氣影響芯片性能；薄膜傳感器則實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)沉積在晶圓表面的金屬 / 介質(zhì)層厚度，確保芯片電路的精度達(dá)標(biāo)。

SMC的真空吸盤與氣動(dòng)電磁閥，為晶圓搬運(yùn)提供 “無(wú)損傷自動(dòng)化方案”：RMH□系列協(xié)作機(jī)器人氣爪采用柔性材質(zhì)，可平穩(wěn)抓取直徑 300mm/450mm 的晶圓，搭配無(wú)桿氣缸的高速傳動(dòng)，實(shí)現(xiàn)晶圓在不同工藝設(shè)備間的高效流轉(zhuǎn)，避免人工操作帶來(lái)的劃傷風(fēng)險(xiǎn)。

醫(yī)療與科學(xué)儀器

醫(yī)療設(shè)備與科學(xué)儀器對(duì) “精度”“合規(guī)性” 的要求遠(yuǎn)高于普通工業(yè)領(lǐng)域，PRESYS、PFEIFFER VACUUM、SMC與VAT的技術(shù)方案直接保障了設(shè)備的可靠性與安全性。

醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域：手術(shù)器械滅菌、核磁共振設(shè)備的真空腔體，均依賴穩(wěn)定的真空技術(shù)。PFEIFFER VACUUM的真空泵為醫(yī)療凍干機(jī)提供低溫真空環(huán)境，確保生物制劑在凍干過(guò)程中保留活性；SMC的氣動(dòng)元件符合 FDA 與 NSF 標(biāo)準(zhǔn)，用于牙科治療椅的升降控制、手術(shù)機(jī)器人的精準(zhǔn)動(dòng)作驅(qū)動(dòng)，避免潤(rùn)滑劑泄漏污染醫(yī)療環(huán)境；PRESYS的溫度校準(zhǔn)儀則用于醫(yī)療滅菌器的溫度精度校準(zhǔn)，確保滅菌溫度達(dá)到 121℃的標(biāo)準(zhǔn)要求，避免滅菌不徹底導(dǎo)致的交叉感染。

科學(xué)儀器領(lǐng)域：粒子加速器、質(zhì)譜儀等大型科研設(shè)備，對(duì)真空與閥門的極端性能要求苛刻。VAT為歐洲核子研究組織的大型強(qiáng)子對(duì)撞機(jī)提供專用扇形閥，可在 - 271℃的超低溫環(huán)境下維持 10?¹³ mbar 的超高真空。PFEIFFER VACUUM的真空計(jì)則用于質(zhì)譜儀的真空監(jiān)測(cè)，確保樣品離子在分析過(guò)程中不受氣體碰撞干擾；INFICON的氣體分析技術(shù)還用于環(huán)境監(jiān)測(cè)儀器的性能校準(zhǔn)，助力科研機(jī)構(gòu)精準(zhǔn)檢測(cè)大氣中的微量污染物。

新能源制造

在太陽(yáng)能電池板與鋰電池生產(chǎn)中，“鍍膜均勻性”“密封可靠性”“生產(chǎn)節(jié)拍提升” 是核心訴求，PFEIFFER VACUUM、SMC、INFICON與PASCAL的技術(shù)方案直接解決了這些行業(yè)痛點(diǎn)。

太陽(yáng)能電池板生產(chǎn)：光伏組件的鍍膜環(huán)節(jié)需要高真空環(huán)境以確保薄膜附著力與透光率，PFEIFFER VACUUM的 HiScroll 系列干泵可提供穩(wěn)定的中高真空，搭配其泄漏檢測(cè)技術(shù)，避免鍍膜腔室漏氣導(dǎo)致的電池轉(zhuǎn)換效率下降；SMC的真空噴射器與吸盤則用于電池板玻璃基板的搬運(yùn)，其耐候性設(shè)計(jì)適配光伏工廠的高溫高濕環(huán)境，同時(shí)空氣管理系統(tǒng)可減少 40% 的耗氣，降低工廠能耗。

鋰電池生產(chǎn)：從電極涂布到電芯封裝，每一步都需嚴(yán)格控制水分與雜質(zhì)，INFICON的氣體分析儀器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電芯干燥過(guò)程中的水分含量，確保電池循環(huán)壽命；PASCAL的模具夾具與自動(dòng)耦合器則為鋰電池制片 - 卷繞一體機(jī)提供 “快速換模方案”：傳統(tǒng)換模需 1 小時(shí)，而其連桿夾具可將時(shí)間縮短至 15 分鐘，大幅提升動(dòng)力電池工廠的生產(chǎn)節(jié)拍；PFEIFFER VACUUM的凍干技術(shù)還可用于鋰電池電極材料的干燥處理，避免高溫干燥導(dǎo)致的材料結(jié)構(gòu)破壞。